脉冲偏压电弧离子镀论文

可再生燃料电池钛双极板电弧离子镀膜改性研究
论文摘要随着现代科技的不断进步及人类对提高环境质量的永恒追求,传统的化石燃料被新一代清洁无污染、可再生的燃料所取代是人类发展的必然趋势,也是人类技术文明道路上的一个不可回避的重...
脉冲偏压电弧离子镀沉积TiO2与AlN介电薄膜
论文摘要介电薄膜是应用最广泛的一类功能薄膜，在机械、电子、信息、航天等领域起着越来越重要的作用。但由于其导电性能不好，给它们的沉积制备带来了难度。比如采用最为常用的PVD技术之...
脉冲偏压电弧离子镀的工艺基础研究
论文摘要电弧离子镀（ArcIonPlating,AIP）是三大PVD薄膜制备技术（电弧离子镀、磁控溅射及蒸发镀）之首,在工业生产中应用最为广泛,是TiN类硬质薄膜合成的不可替代...