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电弧离子镀的等离子体负载特性与脉冲偏压电源研究
论文题目:电弧离子镀的等离子体负载特性与脉冲偏压电源研究论文类型:博士论文论文专业:机械制造及其自动化作者:戚栋导师:郭东明,王宁会关键词:电弧离子镀,等离子体负载,脉冲偏压电...