脉冲偏压论文

脉冲偏压电弧离子镀沉积超硬多层薄膜
论文摘要脉冲偏压电弧离子镀是近十几年来发展起来的一种新兴薄膜沉积技术,与传统的电弧离子镀技术相比,它具有沉积温度低、残余应力小、晶粒细化及颗粒净化等优点,为沉积性能优异的多层薄...
脉冲偏压电弧离子镀（TiMe）N多元复合硬质薄膜研究
论文摘要本文对脉冲偏压电弧离子镀（TiMe）N多元复合硬质薄膜进行了研究,选用电负性与Ti元素存在不同程度差异的过渡金属Nb、Cr、Zr作为添加元素,在其它工艺参数相同的条件下...