脉冲栅控行波管论文

C、Hf薄膜抑制栅极电子发射的机理研究
论文摘要本论文研究了脉冲栅控行波管中,C、Hf薄膜对抑制栅极电子发射所起的作用,讨论了两种薄膜的工作机理。实验中,分别利用双离子束溅射和射频磁控溅射技术在Mo基底上制备了C膜和...