膜厚方程论文

化学机械抛光流场的流体动力学数值模拟及离心力影响分析
论文摘要随着电子产业的发展壮大,半导体产业快速发展。为了得到更好的集成电路,就需要精微线规精确的多平层的晶片。目前,化学机械抛光(ChemicalMechanicalPolis...