膜厚监控论文

光学膜厚宽带监控关键技术研究
论文摘要光学薄膜的光学特性与其每一膜层的厚度密切相关,为了制备出符合要求的光学薄膜产品,在制备过程中必须监控膜厚。对于规整膜系来说,目前采用最多的是监控单一波长的光电极值法,但...
宽光谱监控薄膜生长系统的研制
论文摘要在光学薄膜器件的制备过程中,薄膜厚度是实现器件特性的最重要的参数,薄膜制备的成功与否取决于在薄膜生长过程中能否对各层薄膜的光学厚度进行精确的测量和控制。镀膜工艺经过一百...