脉宽参量论文

本文主要研究内容作者乔泳彭,蒋百灵,丁郁航,张静（2019）在《基于脉宽参量的TiN纳米晶薄膜制备及其性能?》一文中研究指出：采用大功率脉冲溅射离子镀技术在不同脉宽条件下制备了...