模拟解算器论文

支持MEMS系统级设计的仿真器研究
论文摘要MEMS已由功能单一的微器件向由微机械和接口电路等构成功能更加复杂的集成化微系统方向发展，这给MEMS设计者提出了越来越高的要求，也使得MEMS设计方法和设计工具研究成...