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    论文题目:金刚石衬底上压电薄膜的制备研究论文类型:硕士论文论文专业:光学工程作者:徐晟导师:陈希明关键词:铌酸锂薄膜,滤波器,磁控溅射,压电性,模态耦合理论文献来源:天津理工大...