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高性能声表面滤波器LiNbO3/金刚石的制备及分析
论文摘要随着第三代通讯技术的发展,声表面波(SAW)器件的使用频率不断提高,从最初的几MHz发展到现在的几GHz。高频应用系统的不断发展显著增大了高频声表面波器件的市场需求。金...
金刚石衬底上压电薄膜的制备研究
论文题目:金刚石衬底上压电薄膜的制备研究论文类型:硕士论文论文专业:光学工程作者:徐晟导师:陈希明关键词:铌酸锂薄膜,滤波器,磁控溅射,压电性,模态耦合理论文献来源:天津理工大...