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张立斌:基于激光传感器的液体静压导轨模态仿真与测试方法研究论文
本文主要研究内容作者张立斌(2019)在《基于激光传感器的液体静压导轨模态仿真与测试方法研究》一文中研究指出:在超精密加工设备中,超精密液体静压导轨是其关键部件。影响导轨性能的...