磨削系统论文

天线罩磨削工艺及其装备的应用研究
论文摘要天线罩不仅是无线电寻的制导系统的重要组成部分,而且是导弹弹体的重要部件,其加工质量直接影响导弹的制导准确率。天线罩一般由硬脆石英陶瓷材料制成,结构为复杂曲面薄壁回转体,...
大尺寸硅片超精密磨床磨削系统动态仿真技术研究
论文摘要集成电路是现代信息产业和信息社会的基础，全球90%以上的集成电路衬底材料都采用硅片。随着集成电路制造技术的飞速发展，为了增大硅片的产量，降低单位制造成本，硅片趋于大尺寸...