纳沟道论文

基于等离子体技术的聚合物微纳流控芯片制作
论文摘要为了提高聚合物微流控芯片的集成度,往往需要在芯片上集成各种金属微电极。然而,电极在芯片热键合过程中常常发生断裂。本文首先对电极的断裂行为进行了研究。电极断裂的主要原因是...