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微细阵列电极阵列孔的组合电加工关键技术研究
论文摘要微细电加工技术因其非接触加工、材料适应性广、没有宏观作用力等优点,在微小零件的加工中具有独特的优势。微细电火花加工、微细电火花线切割加工、微细电解加工以及超声复合微细加...