![压电陶瓷微位移驱动控制技术研究]()
论文摘要随着高新技术在各前沿科学技术领域中应用的不断深入,以及微定位技术的不断发展,压电陶瓷致动器越来越多地被用作驱动纳米位移台。压电陶瓷纳米位移台不仅可以用作传感器静态校准,...
![原子力显微镜成像与纳米操作控制的研究]()
论文摘要自问世以来,原子力显微镜（AtomicForceMicroscope,AFM）已经逐步发展成为微/纳米领域成像和操作的基本工具,在生物、材料、化学以及物理等学科得到了广...
![大口径光栅机械拼接机构的关键特性分析]()
论文摘要高精度大口径光栅是天文物理学以及激光核聚变等领域必不可少的元件。近年来,随着相关领域的快速发展,对其面积要求已达到了1m2甚至更大。应用光栅拼接技术是获取大口径光栅的有...
![适于纳米定位的反馈控制技术的研究]()
论文摘要随着纳米技术新时代的到来,微小位移量及微小物体几何形状测量已经进入了纳米、埃米量级,同时,现代精密加工技术的发展要求位移测量技术能在比较宽的量程上有极高的分辨率和很高的...
![纳米定位微位移工作台的控制技术研究]()
论文摘要随着微机电系统的快速发展，需要不断研究能够产生各种精细图形和微结构的加工技术。电子束曝光技术是目前公认的最好的高分辨率图形制作技术，主要用于0.1～0.5μm的超微细加...
![中频差双反射膜激光及掩模板测量纳米定位系统研究]()
论文题目:中频差双反射膜激光及掩模板测量纳米定位系统研究论文类型:博士论文论文专业:光学工程作者:闫聚群导师:殷纯永关键词:微电子掩模板,双反膜,平面镜干涉仪,免阿贝误差,纳米...
