纳米定位系统论文

多尺度微/纳米定位系统的设计、分析及试验研究
论文摘要随着纳米技术的不断发展,高精密的定位精度已从毫米(mm)级、微米(μm)级向纳米(nm)级发展,微机器人、MEMS系统、光学精密工程、航空航天及生物医疗等高精密领域,迫...