纳米多层涂层论文

CrAlN基单层及纳米多层涂层的微观结构、力学性能及超硬效应研究
论文摘要CrAlN涂层是一种新型性能优异的硬质涂层，因其具有优异的力学性能和抗高温氧化性能而成为涂层领域的研究热点。本文选择直流反应磁控溅射工艺，研究了工艺参数、元素比例对Cr...