纳米非晶碳膜论文

纳米非晶碳膜制备及其场致电子发射性能研究
论文摘要本论文研究了微波等离子化学气相沉积系统（MPCVD）制备条件对非晶碳膜场发射特性的影响，制备出了开启电场低、电流密度大的纳米含氢非晶碳薄膜；研究了非晶碳膜场致电子发射电...