纳米光刻蚀技术论文

金属表面结构对表面等离子体干涉光刻法分辨率的影响
论文摘要光刻技术是当前半导体元器件加工业应用最为广泛的一项技术。随着大规模集成电路和微结构光子学元器件的迅速发展，对光刻技术的精度和分辨率要求越来越高，但是由于光学衍射极限的存...