• 纳米硅/单晶硅异质结二极管制作及特性研究

    纳米硅/单晶硅异质结二极管制作及特性研究

    论文摘要能带工程的开展与取得的成果使得对异质结的关注与研究越来越广泛。两种半导体材料禁带宽度不同以及界面态等因素的影响,使得异质结具有许多不同于同质结新的特性,实现了同质结不能...
  • 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究

    纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究

    论文摘要随着科学技术的飞速发展,在航空航天、环境监测、工业生产、医学、军事等领域,经常需要对压力、温度、磁场、湿度、加速度和流速等多个参数进行同时测量。在不同应用领域,针对环境...
  • PECVD法制备纳米硅薄膜及其研究

    PECVD法制备纳米硅薄膜及其研究

    论文摘要纳米硅薄膜(nc-Si:H)是一个由纳米尺度的Si晶粒组成的薄膜。它的结构和物性既与其它硅材料有密切的联系,又显示出一系列低维半导体的特性。本文着重研究了nc-Si:H...
  • 硅系纳米复合薄膜的制备及其微结构、光电性能研究

    硅系纳米复合薄膜的制备及其微结构、光电性能研究

    论文摘要本论文旨在通过对硅系纳米复合薄膜的制备方法、结构特征及光电性能的研究,探讨微结构对材料物性的影响规律,以期达到通过调整工艺参数控制材料微结构,进而控制材料物性的目的,实...