论文摘要纳米加工作为纳米科技中的一个重要的组成部分,近年来备受人们的关注。纳米压印技术是纳米加工中的一种非常重要方法,具有效率高、面积大、重复性强、分辨率高等优点,自发明以来备...
论文摘要纳米加工技术是构建新一代纳米电子器件的重要基础技术。而基于扫描探针显微镜(SPM)的纳米加工技术是迄今为止最为简单的一种纳米加工技术。其中,利用原子力显微镜(AFM)的...
论文摘要纳米加工是指制造具有人造样式纳米结构的过程。目前,认为这些结构的最小尺寸要≤100纳米。基于光刻蚀和扫描束刻蚀的常规纳米加工技术已能用于大规模生产,但这些方法面临诸多限...
论文摘要随着纳米科技的发展,加工精度不断向纳米级和原子级迈近,由于微纳构件尺寸的微小化,将导致构件本身的微观效应和多物理场耦合效应,微纳构件将表现出许多与宏观尺寸构件截然不同的...
论文摘要纳米技术是当代科学发展的一个新兴领域,它的最终目标就是在纳米尺度上制造出具有特定功能的产品。纳米技术的核心是纳米加工技术。纳米加工技术水平的提高将对微型机械、信息存储、...
论文摘要作为一种新型的激光成型技术,飞秒激光双光子微细加工具有真三维,亚微米级分辨率,热效应小等技术特点,在微加工领域越来越受到重视。本文结合国家自然科学基金重点项目“飞秒激光...
论文摘要纳米技术发展的最终的目的是加工出特定功能的纳米器件。加工纳米量级结构是整个纳米技术的基础,已成为当前世界科学研究急需解决的问题。扫描探针显微镜(SPM)大大扩展了表面信...