纳米金刚石薄膜论文

论文摘要纳米金刚石（Nano-crystallinediamond,NCD）薄膜具有低的表面粗糙度、低的摩擦系数、高的弹性模量和良好的场发射性能等一系列优异性能,是一种十分理想...

论文摘要金刚石薄膜材料具有极高的稳定性、极高的硬度、较宽的禁带宽度、传播声波速度快、负电子亲和势、以及化学惰性等性质,使得金刚石薄膜材料在场发射、微电子器件、电化学、生物医用器...

论文摘要本工作提出了采用正偏压,即EACVD方法,在α-SiC陶瓷和（100）Si晶片抛光衬底表面上沉积纳米金刚石薄膜。研究了气压、连续正偏压和正偏压增强成核对沉积金刚石薄膜的...

论文摘要由于金刚石在力、热、光、电学等方面独特的性质，正引起人们广泛的关注。在金刚石膜的应用前景中最为重要的一个领域是，金刚石膜作为电子发射材料在高频、大功率和高温电子器件中的...