纳米金刚石膜论文

热丝化学气相沉积制备超薄纳米金刚石膜研究
论文摘要纳米金刚石膜（NDF）不但具有多晶金刚石膜优异的物理化学特性，而且由于它由纳米金刚石晶粒组成，因而容易生成表面光滑、均匀、连续的超薄膜，无须抛光处理即可用作机械和光学器...