纳米刻划论文

论文摘要纳米加工技术的发展使得纳机电系统制造成为可能。当被加工材料尺寸达到纳米量级时,由于小尺寸效应、量子效应及表面效应的影响,纳米加工的理论与方法和传统机械加工有着本质的不同...