纳米切削论文

单晶硅纳米切削表面质量与分子动力学仿真
论文摘要超精密与纳米加工技术是现代机械制造技术的前沿,目前加工精度已接近纳米数量级,纳米加工机理的研究对超精密与纳米加工技术的发展有重要影响。随着微机电和纳机电系统的发展,零件...