纳米三坐标测量机论文

论文摘要超精密加工技术的高速发展,引发器件微型化革命,对相应三维检测设备的测量精度提出更高要求,三坐标测量机为传统通用性高精度测量仪器,发展尺寸小型化、精度纳米级,是微小型三坐...