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用激光加工硅样品生成低维量子结构及其强荧光效应
论文摘要将功率为30W、波长为1064nm、脉宽8ns、重复频率800HZ的YAG激光束照射在电阻率为10—20Ωcm的P型掺杂单晶硅样品表面打出小孔,在孔内的侧壁上形成较规则...