纳米微孔论文

低介电常数聚酰亚胺薄膜制备与性能研究
论文摘要随着超大规模集成电路（ULSI）器件集成度的提高,信号容阻（RC）延迟、串扰以及能耗等问题也日益凸显出来,亟需开发新型低介电常数（low-k）材料解决上述问题。在聚合物...