纳米小孔论文

飞秒激光微纳加工系统及功能器件工艺研究
论文摘要作为一种新型的激光成型技术,飞秒激光双光子微细加工具有真三维,亚微米级分辨率,热效应小等技术特点,在微加工领域越来越受到重视。本文结合国家自然科学基金重点项目“飞秒激光...