纳米压入实验论文

基于纳米压入实验的微纳电子材料力学性能表征技术研究
论文摘要随着集成电路器件特征尺寸的不断减小,微纳电子材料的力学性能越来越显著地对器件乃至整个电路的可靠性产生重要影响。因此需要一种行之有效的评价方法来表征这些材料在纳米尺度上的...