纳米压印技术论文

利用纳米压印技术构筑图案化微纳结构
论文摘要大规模集成电路技术的进一步发展需要开发新一代的刻蚀技术,但传统的光刻技术即将接近其技术极限,因此研究和开发高分辨率加工能力的纳米加工技术迫在眉睫。纳米压印技术是华裔科学...