纳米制造技术论文

基于MEMS技术制作的硅纳米线及其性质研究
论文摘要硅纳米线由于特殊的物理性质和潜在的应用前景而越来越受到人们的重视。其较高的比表面积非常适合制作各种传感器，其特殊的机械特性也引发了人们制作纳米谐振器的兴趣。为实现纳米线...