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等离子体沉积相关技术在制备纳米结构碳氮薄膜上的应用
论文摘要自从1989年Cohen和Liu对β-C3N4这种超硬材料作出了理论预测以来,对该材料的合成研究一直是材料领域研究的热点之一,这种材料的人工合成,对相关理论和材料应用产...