内扩散论文

高温快速热处理对直拉硅单晶中杂质行为的影响
论文摘要快速热处理（RTP）作为一种敏捷制造手段,近十年来在直拉硅片内吸杂工艺中得到很好的应用,其根本原因在于高温RTP引入的空位能增强直拉硅片的氧沉淀且空位浓度的深度分布可以...
海水提取硝酸钾200吨/年中试相关离子交换动力学特性研究
论文摘要天然沸石法海水提取硝酸钾200吨/年中试是国家“十五”重点科技攻关课题:2001BA602B-06海水及苦卤提取硫酸钾和硝酸钾新技术研究的主要研究内容之一。本课题的目的...