内吸杂工艺论文

大直径直拉硅片的一种新型内吸杂工艺研究
论文摘要半导体硅材料是微电子产业的基础材料。多年来,人们一直在研究如何控制和利用直拉硅中的杂质和缺陷,即所谓的“缺陷工程”。其中内吸杂工艺是学术界和工业界普遍关注的重点领域。近...