内应力测量论文

SU-8光刻胶超声时效的实验研究
论文摘要随着MEMS（微电子机械系统）技术的迅速发展,基于SU-8胶的UV-LIGA技术得到了广泛的应用。SU-8光刻胶已成为制作高深宽比结构的首选光刻胶。然而SU-8胶在工艺...