能带特征论文

论文摘要本工作利用螺旋波等离子体增强化学气相沉积技术,在单晶Si及Corning7059玻璃衬底上通过控制衬底温度与氮气流量制备了不同氮掺杂比例的纳米晶态3C-SiC和6H-S...