逆变倍频论文

磁控溅射高频脉冲（A~2K）电源的研制
论文摘要根据调研和文献,对不同的溅射技术进行了比较,针对脉冲磁控溅射（PulseMegnetronSputtering（PMS））的特点及受限于电源技术的瓶颈,提出了A2K（A...