镍合金溅射靶材论文

部分镍合金及靶材的显微结构和性能研究
论文摘要镍合金及镍合金薄膜具有独特的性质和广阔的应用前景。溅射靶材的品质直接影响溅射薄膜的性质。研究开发高品质靶材、薄膜和特种合金,必须上升到数字化设计水平。本论文基于相图计算...