铌酸锂薄膜论文

论文摘要随着第三代通讯技术的发展,声表面波（SAW）器件的使用频率不断提高,从最初的几MHz发展到现在的几GHz。高频应用系统的不断发展显著增大了高频声表面波器件的市场需求。金...

论文题目:金刚石衬底上压电薄膜的制备研究论文类型:硕士论文论文专业:光学工程作者:徐晟导师:陈希明关键词:铌酸锂薄膜,滤波器,磁控溅射,压电性,模态耦合理论文献来源:天津理工大...

论文题目:高频SAW器件高性能压电薄膜的制备及性能研究论文类型:硕士论文论文专业:光学工程作者:王芳导师:杨保和关键词:声表面波滤波器,磁控溅射,氧化锌薄膜,铌酸锂薄膜,压电薄...