扭转摆结构论文

RF MEMS开关的设计与制作
论文摘要随着MEMS技术在20世纪晚期的进步,已使得设计和制造RFMEMS开关成为可能。与半导体开关相比,MEMS开关的损耗低、隔离度高和功率处理能力强。随着独立衬底的MEMS...