扭转式微执行器论文

考虑漏电场的扭转式微执行器Pull-in机理分析
论文摘要微型化始终是当代科学技术发展的重要方向。随着微电子技术的发展,基于MEMS（微机械系统）技术的微传感器、微执行器得到了快速发展,在其各种驱动方式中,静电驱动占有重要地位...