耦合控制论文

光刻机粗精耦合及同步控制算法研究
论文摘要光刻技术是大规模集成电路制造技术和微光学、微机械技术的先导和基础;它决定了集成电路的集成度;而光刻机粗精耦合控制系统是实现精确定位的基础。本文针对粗精组合结构的精密工作...
网络化运动控制系统多轴协同关键技术研究
论文摘要运动控制是现代机电设备的重要支柱,多个运动轴之间高精度协同运动是实现复杂的设备功能、提高产品质量的关键。随着现代化设备向高速度、高精度方向飞速发展,对运动控制提出了更高...