抛光论文

论文摘要随着光学与微电子学等技术的不断发展,对其中关键零件表面精度的要求越来越高。近年来集成电路的规模越来越大,其所用芯片的特征尺寸越来越小,为保证后续加工的质量,对表面精度的...

本文主要研究内容作者戴旭杰,张航航,宋孝宗（2019）在《不同形状喷嘴纳米颗粒胶体射流流场仿真研究》一文中研究指出：针对紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工技术中紫外光束与胶体射流束...

本文主要研究内容作者王荣,王优,崔月,李圣（2019）在《45钢表面电子束微熔抛光的性能和组织分析》一文中研究指出：为显著改善45钢表面粗糙度及其综合力学性能.文中采用电子束微...