![脉冲磁场辅助磁性复合磨粒化学机械抛光工艺研究]()
论文摘要磁性复合磨粒化学机械抛光（MagneticCompositeAbrasiveChemicalMechanicalPolishing,MCA-CMP）是一种新型化学机械抛...
![MgF2单晶的加工工艺研究]()
论文摘要随着我国工业化步伐的不断加快,氟化镁晶体在光学陶瓷及玻璃、红外元件等高技术领域得到了广泛的应用。氟化镁晶体的光学性能主要依赖于它的表面质量,只有晶体表面达到超光滑表面粗...
![碱性抛光液对铜平坦化的影响研究]()
论文摘要随着极大规模集成电路（ULSI）的发展,特征尺寸进一步减小,布线层数增加,铜布线已逐步取代铝布线应用于极大规模集成电路（ULSI）的制造。铜布线超大规模集成电路的制造主...
![KDP晶体潮解抛光的实验研究]()
论文摘要在惯性约束聚变固体激光驱动器、强激光武器及核武器等关键设备所需的众多光学元器件中,KDP晶体作为一种优质的非线性材料,被广泛地应用于激光和非线性光学领域。但由于其具有软...
![CVD金刚石膜化学机械抛光液的研制]()
论文摘要金刚石具有优异的机械性能、热力学性能、光学性能、声学性能、半导体性能及化学惰性,作为一种全方位的多功能材料,在诸多领域具有非常广阔的应用前景。尽管CVD金刚石膜的问世缓...
![蓝宝石晶片化学机械抛光液的研制]()
论文摘要蓝宝石是一种集优良的光学性能、物理性能和化学性能于一体的多功能氧化物晶体。单晶蓝宝石具有很好的热特性、耐磨性、电气特性和介电特性,其硬度仅次于金刚石,达到莫氏9级,在高...
![超导材料NiW合金基带电化学抛光工艺研究]()
论文摘要生命科学、材料科学、环境科学和航天技术的发展，对材料表面光整度的要求愈来愈高，这对表面光整技术提出了新的挑战，同时也对该技术的应用提供了发展的机遇。电化学抛光技术已在金...
