硼扩散源论文

硼硅酸盐微晶玻璃析晶动力学及其应用研究
论文摘要硼硅酸盐微晶玻璃具有熔点低,化学稳定性好、热膨胀系数调节范围宽、介电性能优良等特点,在信息产业及能源工业中具有广阔的应用前景。作为半导体硅晶片掺硼的固态扩散源和固体氧化...