硼碳氮薄膜论文

硼碳氮薄膜的磁控溅射法制备及其结构研究
论文摘要本论文的主要工作是采用射频磁控溅射制备硼碳氮（BCN）薄膜,研究了各实验参数对硼碳氮薄膜的生长行为和结构的影响,对硼碳氮薄膜制备工艺进行了系统的、深入的研究。采用磁控溅...
硼碳氮薄膜的制备及性质研究
论文摘要采用射频磁控溅射和射频反应性磁控溅射两种方法制备了硼碳氮薄膜。利用X-射线光电子能谱、傅立叶变换红外光谱（FTIR）、拉曼光谱、X-射线衍射分析（XRD）、原子力显微镜...
硼碳氮薄膜的制备及其光透过性质研究
论文题目:硼碳氮薄膜的制备及其光透过性质研究论文类型:博士论文论文专业:光学作者:王玉新导师:冯克成关键词:射频磁控溅射,硼碳氮薄膜,沉积参数,透过率文献来源:长春理工大学发表...