偏压效应论文

等离子体薄膜表面制造中的偏压效应研究
论文摘要在等离子体工艺过程中,离子轰击效应是促进等离子体与材料相互作用的关键机制,是决定材料性能和结构的重要因素。偏压辅助等离子体技术将等离子体化学活性与离子轰击效应相结合,形...