平板阴极微空心阳极放电论文

高气压辉光放电理论与实验
论文摘要高气压辉光放电有许多应用领域,譬如:表面处理、薄膜沉积、污染气体的消毒、平板等离子体显示、紫外准分子灯和气体激光器等,近年来它的应用得到高速发展。本文主要对微空心阴极放...