平行板微执行器论文

考虑漏电容的平板式微执行器Pull-in机理分析
论文摘要基于MEMS（微机电系统）技术的微传感器、微执行器得到了快速发展,在其各种驱动方式中,静电驱动占有重要地位。Pull-in现象是静电驱动的微执行器的一个重要现象,已经引...