瓶颈设备论文

半导体制造企业中“瓶颈”设备的故障预测
论文摘要半导体制造企业中设备的运行状态对企业的生产能力影响重大。由于半导体生产设备造价昂贵,制定合理的预防性维修计划,降低设备故障停机时间,提高设备利用率是提高企业生产能力、降...